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CVD氣相沉積爐
發(fā)布時(shí)間：2020-06-22瀏覽次數(shù)：2273
化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用領(lǐng)域:
化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等CVD、CVI處理。
化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格:
產(chǎn)品型號(hào)/規(guī)格W×H×L(mm) | 600*600*1000 | 800*800*1200 | 1000*1000*1500 | 1200*1200*2500 | 1500*1500*3000 | 2500*2000*3600 |
裝載重量(KG) | 350 | 800 | 1500 | 2500 | 5000 | 10000 |
**溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
加熱功率(kw) | 250 | 360 | 480 | 600 | 900 | 1200 |
極限真空度(Pa) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上化學(xué)氣相沉積爐參數(shù)可以根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。 | ||||||
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